EXE-FLOW(エグセフロー)は Exact『正確な流量計測』、Excellent『優れた機能』をコンセプトに製品化した表示器がついた電子式流量計です。

小流量(0.2ml~10ml/min)から大流量(4L~200L/min)までカバーしています。

流量測定精度 ±1.5% 保証し、腐食性ガスが使用できます。ガスの種類はスイッチで切替可能で利便性が広がりました。

EXE-FLOW MODEL EX-700 SERIES

特徴

  • 流量測定精度 ±1.5% 保証
  • 腐食性ガス使用可能
  • ガス種切替スイッチ付
  • パーティクルフリー
  • 小型軽量、単電源接続で簡単操作/RS-485 通信機能標準搭載
  • 接ガス部 SUS316L、FKM、PTFE のため腐食性ガス対応可能
  • RoHS、CE 規格対応
  • 標準以外の流量レンジも製作可能

仕様(MODEL EX-700 SERIES)

 センサー方式 熱式センサー(EX センサー)
 対象ガス N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2など(腐食性ガスにも対応)
 流量レンジ(N2

N2

)※1

10/50/100/500SCCM 1/5/10/20SLM 50/100/200SLM
 応答性 2sec 以内
 精度 ± 1.5% F.S.(25℃)
 再現性 ± 0.2% F.S.
 耐圧 980kPa(G)
 外部リークレート(He

He

1.0 × 10-8 Pa・m3/sec 以下
 温度  使用温度 5 ~ 50 ℃
 許容保存温度 -10 ~ 60 ℃
 排ガス部材 SUS316、SUS316L、PTFE、FKM
 流量出力信号 4-20mA 標準
(0-5V, 1-5V オプション注文時選択)
 デジタル通信 RS485(MODBUS プロトコル、RTU モード)
 イベント出力 NPN オープンコレクタ出力 2 段、積算パルス出力
最大定格 DC30V 50mA
 異種ガス測定機能 表示器にてガス種選択(CF 換算対応)
 所要電源(DC) +24VDC(± 10%)100mA 以下
 継手 ※2 1/4F900(標準) 3/8F900(標準)
 精密ニードルバルブ(オプション) MODEL 2412 MODEL 2412D
 寸法 W76×D30×H80 W76×D34×H90

※1 流量校正単位 SCCM、SLM は、質量流量を 0℃、1atm 状態での体積流量 cc/min、L/min に換算した値になります。

※2 その他継手については別途お問い合わせください。

※本仕様及び外形寸法は、予告なく変更することがあります。

マスフローの原理について

マスフローに使用されている流量センサーは、一般的には熱式流量センサーと呼ばれるものです。

流量センサーの仕組み

図 1 センサー部の構造

センサー部である毛細管図 1 には、抵抗温度係数が大きい抵抗体を上流側(Rus)、下流側(Rds にそれぞれ巻きつけてあります。これに電流を流すことにより、2 つの抵抗体は発熱します。

この時毛細管の内部に流体が流れない状態ですと、上流、下流ともに同じ温度でバランスします。

(図 1 グラフの実線、流量ゼロ=マスフローで一般的にいうゼロ点の位置になります)

この状態で流体が流れ始めると、温度分布が図 1 グラフの破線のように変化します。

このとき上流側は流体により熱を奪われ、逆に下流側には上流側から奪われた熱があたえられることになります。

つまり、上流と下流の間に温度差(T)が生じるということです。

マスフローメーター構造

図 2 マスフローメータの構造略図

この温度差(T)が流体の質量流量に対して、関数関係であることに着目し、各々の抵抗値の変化を電気信 号として取り出し、増幅、補正することにより、ある条件下で質量流量を計測できる熱式質量流量計として機能するのです。これがマスフローメータ図 2 です。

図 3 マスフローコントローラ構造略図

さらに マスフローコントローラ図 3 では、センサー部から出力された流量信号を基に、外部からの流量設定信号との比較制御で高速、高分解能のピエゾもしくはソレノイドアクュエーターにより流量制御バルブの開度をコントロールすることで、温度、圧力等の諸条件が変化してもほとんど影響を受けない、安定した質量流量制御を行うことができるのです。