クリーンルームは、アクチュアルクリーンレベル(作業中の清浄度)が重要です。作業中に発生したコンタミによって設定した清浄度が大幅に下がり、それが不具合の原因となっているかもしれません。
KOACH は抜群の排出力で、コンタミが発生しても大幅に清浄度を下げることなく短時間で高い清浄度を回復、世界最高レベルのスーパークリーン空間を形成します。

動画


ISOクラス1のクリーン空間が形成される 実験の様子 (約1分10秒)


KOACHの気流技術について (約1分50秒)

オープンスーパークリーンルームがもたらすメリット

常に高嶺の花だったスーパークリーン、そして維持費や管理に悩まされるスーパークリーン。
そのスーパークリーンの世界において革命的技術を持つのが「KOACH」で、廉価でどこにでも簡単に導入でき、実に使い易いスーパークリーン空間を作り出します。
これまで大規模な投資が必要だったスーパークリーンは、「KOACH」の登場によってコモディティ化され、クリーンの世界を変えようとしています。

導入メリット

  • 圧倒的に清浄度が高く、クリーン度の維持も楽
  • 建屋でなく機器なのでコストが安い
  • オープンなので、使い勝手が良い
  • 消費電力が低い
  • ルーム型コーチは、移動や拡大縮小が可能で、クリーンを必要とする限り投資に失敗しない
  • 天井に重量物がなく、地震に強い
  • 設置期間が圧倒的に短い

発想の転換で、KOACH(プッシュプッシュ方式)の誕生

どうしてもできなかったオープンな環境下でのクリーン空間は、プッシュフードを対向させて「プッシュプッシュ」とする発想の転換から生まれました。プッシュフードから吹き出した気流が中央で衝突することで、完全なクリーン空間の形成に成功しました。

水平式の送風による清浄領域を上から見たイメージ図

気流シミュレーション図

スーパークリーンとは

スーパークリーンとは旧規格(米国連邦規格)では表すことのできない高い清浄度を持つ空間で、ISO クラス 1、ISO クラス 2 のことをいいます。
スーパークリーンを導入することが時代に先行すること、つまり、時代に残されないための有力な武器となり得ます。
クラス別の許容微粒子数を見れば、その差は歴然です。

清浄度クラスについて(ISO と旧規格の対比表)
ISO14644-1(JIS B 9920) 旧規格 0.1μm の微粒子数(個/㎥)
 ISO クラス 1

(スーパークリーン)

 –  10個以下
 ISO クラス 2

(スーパークリーン)

 –  100個以下
 ISO クラス 3  クラス 1  1,000個以下
 ISO クラス 4  クラス 10  10,000個以下
 ISO クラス 5  クラス 100  100,000個以下
 ISO クラス 6  クラス 1,000  1,000,000個以下
 ISO クラス 7  クラス 10,000  10,000,000個以下

アクチュアルクリーンとノミナルクリーン

一般的に清浄度レベルというと空間中に何もない時の状態を指していました。
しかし、時代が求め始めたのは作業中の清浄度です。
実際の作業中の清浄度を「アクチュアルクリーン」と呼びますが、クリーンデバイス導入の際は「ノミナルクリーン」(無作業時の清浄度)レベルではなく、アクチュアルクリーンレベルで選定することが正しい選定方法となってきています。しかし、従来のクリーンルームの多くでは、それに応えきれなくなってきているのではないでしょうか。
コンタミの排除を基本原理とした KOACH は作業中においても高い清浄度を保ち続けます。

スーパークリーンを実現する超高性能フィルタ 「FERENA」

KOACH のプッシュフードには超高性能ナノファイバーフィルタ「FERENA」が搭載されています。
エレクトロスピニング法(電界紡糸法)において世界で初めてフィルタユニットとして量産に成功したフィルタです。
「FERENA」の最大の特徴は ULPA フィルタと同等の捕集性能(粒径 0.15μm の粒子に対して 99.9998%)を有しながら、圧力損失を HEPA フィルタと同等(初期:136Pa、最終:280Pa)に抑えられることです。
「FERENA」を搭載することで、プッシュフードのファンに過大な負荷をかけることなく、省エネルギーでのスーパークリーンが可能となりました。

FERENA 拡大写真(× 10,000 倍)

FERENA 外観写真

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